項目             型號

CRYSTA-Apex S121210

CRYSTA-Apex S122010

測量范圍

X 軸

2000mm

Y 軸

3000mm

4000mm

Z 軸

1600mm

測量速度

小于3mm/s

驅動速度

8 - 400mm/s  ( CNC 模式 ) ,

0 - 80mm/s  ( J/S  模式：高速 )

0 - 3mm/s  ( J/S  模式：低速 )

0.05mm/s  ( J/S  模式：較低速度 )

加速度

各軸 980mm/s2

分辨力

0.0001mm  ( 0.1μm )

導向系統

采用氣浮軸承

測量高度范圍

1800mm以內

負載范圍

4000kg以內

5000kg以內

重量(包括控制裝置和安裝工作臺)

14100kg

19400kg

空氣供給

氣壓

0.4MPa

消耗量

150L/min  正常情況下 ( 空氣源 : 200L/min )